
詳情介紹
HORIBA 流量計液體(ti) 流量計LF-F50M-A
LF-F類型質量流量控製器根據流量量程,可以適用到 值, 0.1Pa•s。有關(guan) 高粘度的液體(ti) 請預*行谘詢協商。 *3: 以SEMI E56-1296 為(wei) 準。 *4: 進行測量・控製的液體(ti) 溫度如果低於(yu) 環境溫度時,使用時請把溫差控製在10℃以 內(nei) ;如果高於(yu) 液體(ti) 溫度時,使用時請把溫差控製在3℃以內(nei) 。 *5:這是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
可以進行低沸點液體(ti) 材料、高粘度液體(ti) 材料的精密流體(ti) 控製。 •超潔淨類型 規格 名稱 質量流量計 型號 LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A 全標度流量
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