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HORIBA質量流量控製器SEC-E40質量流量計
深圳天鉉真空技術有限公司
所謂質量流量控製器是一種計測和控製流體(ti) 流量的裝置。流體(ti) 的流量計測通常可分為(wei) 體(ti) 積流量和質量流量。體(ti) 積流量由於(yu) 受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體(ti) 質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體(ti) 測量。在必須對流量進行精確計測和控製的領域，質量流量控製器被廣泛的使用，例如半導體(ti) 工業(ye) 、太陽能光電工業(ye) 和微加工製造業(ye) 等。
規格
技術規格
| 型號 | SEC- (質量流量控製器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
|---|---|---|---|
| SEF- (質量流量計) | E40 | E50 | |
| 適用氣體(ti) 種類*1 | 非腐蝕性氣體(ti) (MK3型號適用於(yu) N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
| 氣體(ti) 接觸部材質 | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不鏽鋼 | ||
| 閥門型號 | 非通電時 關(guan) 閉 | ||
| 標準流量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量控製範圍 | 2〜99% F.S. | ||
| 流量測量範圍 | 0〜99% F.S. | ||
| 響應速度 | 1秒以內(nei) (T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ||
| 反複性 | ±0.2% F.S. | ||
| 工作差壓值值 | 10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d) | ||
| 使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
| 耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
| 外部泄漏率 | 1×10-8Pa・m3/s(He)以下 | ||
| 使用環境溫度 | 5〜50℃(精度的確保：15〜35℃) | ||
| 流量設定信號 | 0.1〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2〜99% F.S. | ||
| 流量輸出信號 | 0〜5VDC(最小負荷電阻2kΩ) | ||
| 驅動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
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