Edwards iH600 Dry Pump真空泵

ESR係列（節能型羅茨泵）是多級幹式真空泵，設計用於(yu) 從(cong) 清潔到中負荷工藝的各種應用。ESR係列的泵速範圍從(cong) 35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。

1 x EBARA GENESIS泵522-023

1 x EBARA GENESIS泵522-021

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EBARA 305W渦輪分子泵控製器。

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1 x EBARA GENESIS真空泵522-223

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Ebara AAS20N幹式真空泵經過測試工作

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305W /渦輪分子泵控製器＃305W / EB原

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Ebara 50DVSL61.5泵USIP

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EBARA EV-S20P幹式真空泵，正常工作

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EBARA AA10，幹式泵，真空幹式泵，

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EBARA GENESIS真空泵524-421

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bar原幹式泵A70W，使用中

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