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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡稱,中文名稱為(wei) 阿斯麥(中國大陸)、艾司摩爾(中國台灣)。艾司摩爾(ASML)為(wei) 半導體(ti) 設備供貨商,成立於(yu) 1984年,是從(cong) 荷商飛利浦分割出來獨立的半導體(ti) 設備公司,總部設立於(yu) 荷蘭(lan) 的Veldhoven。
ASML為(wei) 半導體(ti) 生產(chan) 商提供光刻機及相關(guan) 服務,TWINSCAN係列,應用廣泛的光刻機型。目前絕大多數半導體(ti) 生產(chan) 廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等。
ASML的產(chan) 品線分為(wei) PAS係列,AT係列,XT係列和NXT係列,其中PAS係列光源為(wei) 高壓汞燈光源,現已停產(chan) ,AT係列屬於(yu) 老型號,多數已經停產(chan) 。市場上主力機種是XT係列以及NXT係列,為(wei) ArF和KrF激光光源,XT係列是成熟的機型,分為(wei) 幹式和沉浸式兩(liang) 種,而NXT係列則是現在主推的機型,全部為(wei) 沉浸式。
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